如何为半导体应用选择压力传感器？

半导体行业几乎影响着当今生活的方方面面。您每天使用的手机、计算机、电视、汽车和其他电子设备都依赖于半导体的存在，这些应用需要专业的高纯度设备和仪器来确保安全、高效运行。

压力传感器对于半导体工艺至关重要，如何选择适用于半导体应用的压力传感器？本文将重点介绍半导体应用过程中所涉及的因素，以及是什么造就了一台优秀的压力传感器，以便为您的实际应用选择合适的设备。

一．半导体应用
雅斯科的压力测量技术和产品，包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas™ 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器，在诸如气体控制面板，氢气压力检测，以及洁净室关键环境控制等应用领域，为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。

二．影响性能的关键因素

污染控制
为了降低成本并提高性能，半导体制造不断面临着增加晶片中电路数量和密度的挑战。为了使电路图案变得越来越小，在半导体工艺过程中需要进行大范围的污染控制，以避免即使是最小的外来颗粒也不会对暴露的晶片表面造成损坏。

光滑的表面
光滑的表面减少了暴露在使用过程中的表面积，并减少了在安装期间和重复使用后水分或异物粘附在仪器上的机会。

优质的材质 压力传感器的材料必须与过程介质兼容并具有可靠的质量。高纯度等级的 316L 不锈钢最常用于压力传感器，因为它们具有高耐腐蚀性和抗氢脆性 —— 这些因素会影响压力传感器的长期安全性、可重复性和稳定性。

安全认证
此外，半导体气体可能易燃易爆有毒，因此必须选择具有防爆认证的压力传感器，以解决至关重要的安全问题。

三．相关产品介绍
ZT/ZX 超高纯压力变送器

雅斯科ZT/ZX系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台，是超纯应用的专用压力传感器产品，其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接头，以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 10¹² atmcc/s)以及双重包装处理，确保完整性和洁净度。
该产品系列与多种过程气体兼容，并在长期过程测量中表现出较高的稳定性。ZX12超高纯压力变送器具有适用于危险区域的ATEX和IECEX认证证书。

ZL 系列超高纯压力变送器

雅斯科 ZL91 和 ZL92 超高纯行业压力传感器均提供 ±1.0%满量程，参考温度为73°F (23°C) 的精度，多种安装选项，并在 100 级洁净室中组装和包装。
ZL95 数显式超高纯压力传感器是我们半导体产品系列的新成员；具有4位LED显示屏，适用于需要使用 PTFE/PFA 为接液元件的半导体工艺，以提高其在腐蚀性气体和流体中使用的化学兼容性。